電容式傳感器廣泛用于角度、位移、液位等參數(shù)的精確測量。電容式傳感器具有靈敏度高、精度高的優(yōu)點，但這些優(yōu)點都與傳感器的正確設計、正確選材和精細加工技術有關。然而，還應注意以下影響電容式傳感器精度的因素。

1.溫度對結構尺寸的影響。

環(huán)境溫度的變化會引起電容式傳感器各元件的設定尺寸和相互位置的變化，這將導致電容式傳感器的額外溫度誤差，特別是在檢測間隙變化的電容式傳感器中，因為其初始間隙非常小。

2.溫度對介電常數(shù)的影響。

電容傳感器的電容值與介質的介電常數(shù)成正比。因此，對于介電常數(shù)溫度系數(shù)不為零的傳感器，溫度的變化必然會導致傳感器電容值的變化，從而造成額外的溫度誤差。

3.泄漏電阻的影響。

電容式傳感器的容性阻抗非常高，尤其是激勵頻率較低時。當兩極之間的總泄漏電阻與容抗相近時，必須考慮分流作用對整個系統(tǒng)總靈敏度的影響，這樣會降低傳感器的靈敏度。

4.邊緣效應和寄生參數(shù)。

邊緣效應使設計和計算變得復雜，產生非線性并降低傳感器的靈敏度。消除和還原的方法是在結構上加一個保護電極，必須取與備用保護電極相同的電位，并盡量使其與地電位相同。

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